超纯水后处理系统工艺介绍

超纯水后处理系统工艺示意图及功能简介

系统装置功能介绍：

1、水质提升：

通常用在EDI后将EDI纯水提升到18.2M的超纯水标准；

2、解决二次污染

超纯水储存于水箱中，会因空气溶解影响，以及管道与水箱等对超纯水造成二次污染。本系统可对已有少许污染的超纯水再次处理后达到18.2M的标准。

3、颗粒杂质去除

超纯水除了离子杂质外，管道及接触超纯水部分的部件，滤料等会有微量的颗粒物进入到超纯水当中，这就需要后置微米过滤器，过滤精度可达到0.1微米，或0.01微米级别。经过后置过滤器，超纯水标准颗粒物达到一个更高精度。

图中超纯水设备配置的后处理系统，上图红色框内即为后处理部分。