物理气相沉积 (PVD )

设备名称：物理气相沉积 (PVD )

商品编号：T00443

制造商：应用材料（AMAT）

型号：Endura II

年份：2006年

物理气相沉积 (PVD )　Endura II：Configuration

1、FI: 5.3：FI Robot: KAWASAKI、FIS: 0190-22269、FES: 0190-17956   Buffer & Xfer Robot: XP Robo、Cryo Compressor: CTI IS-1000 x2set

Ch-1: NA

Ch-2: Ti, DC Power Supply: ENI DCG-200E OPTIMA

Ch-3: TiN DC Power Supply: ENI DCG-200E OPTIMA

Ch-4: TiN DC Power Supply: ENI DCG-200E OPTIMA

Ch-5: NA

Ch-A: Pass

Ch-B: Cool

Ch-C: PC-XT RF Generator: COMDEL CDX-2000

Ch-D: PC-XT RF Generator: COMDEL CDX-2000

Ch-E: Degas (Single Heat)

Ch-F: Degas (Single Heat)

2、Missing Parts：HDD

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