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新闻详情

晶圆搬运设备 PWT2008

作者:心静来源:半导体网址:http://www.qclean.com.cn/

新设备:晶圆搬运设备 PWT2008;制造商:PHT菲科半导体

简介:采用了清洁机器人的系统。

12英寸(300mm)的晶圆,

以1枚为单位,从容器A移动至容器B。

Inspire

规格 the World

可以对应的容器为FOUP ・FOSB ・PFA。

一般标准为以1枚为单位进行转移,但也可

以以5枚、25枚为单位进行转移。详情根据

客户规格制定

晶圆搬运设备 进口.png

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