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新闻详情

ArF光刻机XT1700Fi  二手出售

作者:心静来源:半导体机械网址:http://www.qclean.com.cn

设备名称:ArF光刻机

商品编号:T00445

制造商:阿斯麦(ASML)

型号:XT1700Fi

年份:2007年6月

ArF光刻机 阿斯麦(ASML):Configuration

1、Basic configuration

SMIF/Non-SMIF type:■ SMIF □ Non-SMIF

Automation Online Component:■ SECE I/II □ GEM □No

Wafer Size:□ 200mm ■ 300mm

Reticle Size:■ 6 inch □ Others

Wafer OF Type:■ Notch at 6 o'clock

□ Others:flat zone

Inline Flow:□ Right ■ Left

2、Sofware:

Main computer type:□ DMCC

■ Others: SUN Fire V240

SoftWare version:No HDD

Y2K completion :■ Yes □ No

3、WL & RL:

WH Port Number:FOUP Left type

RH Library:MK V type

PPD Type:■ PPD2 + IRL

4、Lens & Illumination:

Max NA □ 0.68:■ Other

BMU Type:■ Standard □ Customer

5、Light Source:Vendor ■ Cymer □ Giga □ OtherXLA-360(S/N: 160A061556)

6、Stage:

SCAN Speed:□ 250mmc ■ Others:320mmc

Chuck ■ Pin chuck □ Ring chuck

Focus Calibration Function:□ FC2 □ AIS □ No □ Others

XT1700Fi光刻机.png

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