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LED晶圆曝光设备： 制造商：日本制造商
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新设备：LED晶圆曝光设备： 制造商：日本制造商
概要：2～4インチ兼用/4～6インチ兼用タイプの全自動露光機
用途：MicroLED LED
仕様：処理能力：1st 150枚以上/1時間、2nd 130枚以上/1時間、アライメント精度：0.5μm以下
文章分类：
半导体相关设备
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