ArF光刻机XT1700Fi  二手出售

设备名称：ArF光刻机

商品编号：T00445

制造商：阿斯麦（ASML）

型号：XT1700Fi

年份：2007年6月

ArF光刻机　阿斯麦（ASML）：Configuration

1、Basic configuration

SMIF/Non-SMIF type：■ SMIF　□ Non-SMIF

Automation Online Component：■ SECE I/II　□ GEM □No

Wafer Size：□ 200mm　■ 300mm

Reticle Size：■ 6 inch　□ Others

Wafer OF Type：■ Notch at 6 o'clock

□ Others:flat zone

Inline Flow：□ Right　■ Left

2、Sofware：

Main computer type：□ DMCC

■ Others: SUN Fire V240

SoftWare version：No HDD

Y2K completion ：■ Yes　□ No

3、WL & RL：

WH Port Number：FOUP Left type

RH Library：MK V type

PPD Type：■ PPD2 + IRL

4、Lens & Illumination：

Max NA □ 0.68：■ Other

BMU Type：■ Standard　□ Customer

5、Light Source：Vendor ■ Cymer　□ Giga　□ OtherXLA-360(S/N: 160A061556)

6、Stage：

SCAN Speed：□ 250mmc　■ Others:320mmc

Chuck ■ Pin chuck □ Ring chuck

Focus Calibration Function：□ FC2　□ AIS　□ No　□ Others

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