晶圆外延晶圆衬底用超纯水设备

本公司专业生产专业制造晶圆外延，晶圆衬底行业用超纯水设备,晶圆封装用超纯水设备，为广东，江苏，重庆，成都等多家半导体厂家提供晶圆封装级别的超纯水设备。

制水量根据用户要求，目前有：1t/h,5t/h,25t/h,50t/h,75t/h等常用规格。多家晶圆及晶圆封装厂应用案例。

部分指标:

在线电阻率：（25度）≥18.2M

总有机碳（TOC）：<5ug/L

溶解氧（DO）:≤25ug/L

颗粒:尺寸0.05-0.1um≤1个/L

细菌总数:≤5个/100mL

金属离子: Na、Ca、Fe、Cu、CI、K<0.05 ug/L

全硅:<5ug/L